意法半导体 开发下一代光学MEMS产品

    横跨多重电子应用领域、领先全球的半导体供应商意法半导体(STMicroelectronics；ST；纽约证券交易所代码：STM)宣布将担任Lab4MEMS II专案负责人。

    Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS专案(始于2013年4月)的成功经验为基础而扩展的第二代专案计画，主要研究项目是集成MEMS及微光学(Micro-optics)的微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems；MOEMS)，该系统可透过机械、光学及电子的集成化系统侦测或控制光学讯号，并保留了原专案为日后升级研发的下一代MEMS元件的试产线。

    下一代的MEMS元件搭配压电(piezoelectric)或磁性材料及3D封装等先进技术，可大幅强化产品的性能表现。如同第一代专案，Lab4MEMS II同样是由纳米电子产业公私合营组织欧洲纳米科技方案咨询委员会(European Nanoelectronics Initiative Advisory Council；ENIAC)合作组织(Joint Undertaking；JU)所发起。

    Lab4MEMS II是耗资2,600万欧元(3,000万美元)的专案计画，合作组织横跨9个欧洲国家、含括20个工业、学术及科研组织。凭借第一代Lab4MEMS专案所打下的成功基础，Lab4MEMS II专案委托意法半导体担任专案协调负责人，为研究发展提供完整的制造、技术及组织服务，引领欧洲微光机电系统的研究发展，站稳欧洲MEMS产业在世界领先的地位。

    意法半导体拥有1,000多项MEMS专利，出货量已突破80亿颗，自有产能的日产量超过400万颗，这些傲人的成绩让意法半导体成为欧洲MEMS专案负责人的最佳人选。

    Lab4MEMS II专案的主要研究项目是利用微光学与标准微加工技术进行设计、制造及测试各种元件，包括光学切换器(optical switche)、微反射镜(micro-mirror)阵列、光交换连结器(optical cross-connect)、雷射器、微透镜(micro lenses)，以缩减元件尺寸，实现更先进的光学系统。

    微光机电系统是一个可用来研发未来高价值商用产品的理想平台，例如光学切换器、微反射镜元件及动态显示器(dynamic display)、双稳态(bi-stable)装置、光学快门(optical shutter)，这些光学元件皆可用于微型投影机、雷射微型扫描机、新一代人机接口以及微型光谱仪(micro-spectrometer)。

    这项专案以实现最佳化的单轴双反射镜(dual single-axis mirror)制程为目标，并将致力于研发双轴单反射镜的各种应用可能。

    Lab4MEMS II是ENIAC JU所签定的一个关键实现技术(Key Enabling Technologies；KET)的试产专案，旨在于开发对社会影响重大的技术和应用领域。

    意法半导体欧洲研发与公共事务部专案经理Roberto Zafalon表示：「ENIAC JU研究专案的宗旨与意法半导体运用科技提高人们生活质量的承诺完全一致，微光机电系统是一项很有前景的多功能技术，能够使关键的光学系统小型化，使协会、ENIAC成员国在内的专案成员与利害关系人受益。我们期望开发成果最终可转化为长期的市场成长和高价值的知识型就业机会，进一步促使经济繁荣并造福社会。」

    Lab4MEMS II的试产线将扩大意法半导体Agrate Brianza的200 mm晶圆厂产能，并在现有技术中增加光学技术。此外，该生产线还有助于意法半导体提升这些策略性技术的实际研发经验，同时集成了科研能力与各种微型智能系统芯片及纳米系统芯片的研发能力。不仅如此，该专案还将评估未来芯片升级到300mm的潜在优势和影响。

    ENIAC JU是一个公私合营的产业学术联盟，成员包括ENIAC成员国、欧盟和欧洲纳米电子技术研究协会(Association for European Nanoelectronics Activities；AENEAS)，目前该组织透过竞标的形式为其研发专案提供大约18亿欧元的研发经费。意法半导体负责的Lab4MEMS II专案于2013年秋季得标，2014年11月开始运行。