弗劳恩霍夫研究所开发新型微图案化工艺

    弗兰恩霍夫研究所（Fraunhofer FEP institute）研究人员利用电子束开发了一种新型微图案化工艺，在硅衬底上生产OLED微型显示器。这可以实现生产直接放射OLED微型显示器的新方法，与目前使用彩色滤光片的微型显示器相比，其将更加高效和明亮。

    在封装步骤之后执行电子束图案化——光束穿过封装层并且可以用于修改OLED材料的发射。为了产生红绿蓝像素，OLED本身的有机层通过热电子束工艺烧蚀。

    弗劳恩霍夫研究人员曾于两年前展示OLED照明面板的电子束图案化。研究人员现在的目标是与行业合作伙伴共同开发技术，将其集成到现有流程中，并最终获得许可用于生产。