OLED蒸镀机：难不倒、卡脖子与白菜化的三叠态

    随着全球OLED 8.6代IT线建设和规划进入“高潮”期，蒸镀机卡脖子这一话题再次成为业内焦点：

    例如，消息传闻，在三星选择了日本佳能、京东方选择了韩国Sunic System之后，LGD的8.6代IT线规划只能推后——因为业内只有佳能和Sunic System拥有适配8.5代左右产线的蒸镀机产品供应。同理，无论是国内的维信诺、天马还是华星，如果要建设IT用8.6代OLED线，也需要再蒸镀机上排队。

    再例如，此前我国6代线OLED面板追赶韩国的步伐，始终被“蒸镀机”左右。当三星、LGD新线投资多的时候，佳能等企业的蒸镀机产能被充分占据，我国企业“买不到机器”；只有当韩国的投资热情降下来的时候，我国OLED面板企业才获得了扩张的机会——而这时候，主要面向手机应用的6代OLED面板产品价格已经大幅下降。

    所以，整体看OLED面板的蒸镀机，有点类似于半导体芯片的光刻机——是一个一台设备就能卡脖子的产品，也是一个一台设备能以一亿美元为单位计价的设备。但是，蒸镀机真的会卡住“OLED”的脖子吗？

    国内真空镀膜产业的发展：难不倒与白菜化

    6月5日，汇成真空成功登陆创业板。这是一家真空镀膜设备制造商。据悉，其用于半导体芯片产品的真空镀膜设备正在开发之中。不过由于商业竞争等原因，应客户要求，其产品开发进度高度保密。汇成真空产品涵盖了蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等主要真空镀膜技术及其组合应用，设备形态包括了单体机和连续线——而OLED真空膜形成，就属于真空蒸发连续镀膜技术工艺。

    实际上，与光刻机基本只与半导体加工有关不同，真空镀膜是一个应用非常广泛的传统技艺。从五金卫浴到显示、半导体芯片都会用到真空镀膜技术。因此，从基础技术原型角度看，蒸镀技术更为原始、成熟、技术扩散更为充分。

    再此基础上，合肥欣奕华智能机器股份有限公司(以下简称“合肥欣奕华”)等三家企业已经能够提供8或者12英寸晶圆OLED蒸镀和1-2代玻璃基板OLED蒸镀设备。且成膜精度超过进口同类产品。实际上，我国从事真空蒸镀设备研发的企业至少十余家。基本蒸镀工艺和技术“已经白菜化”。特别是，随着近10年我国硅基OLED产品投资力度加大，设备采购需求占据全球四分之三，加之国外设备商对我们的“卡脖子”，小型高精度蒸镀产品，我国企业已经实现突破、量产、领先和规模效益。

    大幅OLED蒸镀设备的“卡脖子”

    与小型蒸镀设备的白菜化不同，大幅蒸镀设备才是OLED产业链真正的“金馍馍”。这里面的大型设备主要是只适配6代和8代玻璃基板的设备。也是今天OLED产线的主力设备和未来需求量最大的设备。

    OLED蒸镀产品主要有三个维度的性能参数：第一个是“精度”或者说是分辨率，这方面我国企业已经实现突破；第二是大幅蒸镀，即一次蒸镀的面积能有多大——硅基OLED的蒸镀最大不过12英寸，6/8代线则以米为单位（对于连续蒸镀工艺，其即是设备蒸镀宽度）；第三个则是均匀度，即蒸镀面整体的厚度误差要尽可能小。

    在实践中，以上三个参量会互相影响。其中，主要的是蒸镀面积变大，均匀度就更容易出问题。即在10英寸内容许10%的厚度误差，放大到一米上，那就是废品。这也是大幅蒸镀的主要难点，是我国蒸镀装备产业界，从技术角度看的主要难点——但是，这还不是真正的大幅蒸镀机本土替代的最大“难点”：

    因为，和光刻机产业不同——哪怕是最高性能的光刻机，也是面对大量微处理芯片、高性能芯片的海量市场，产业前景、需求规模非常明确。而高性能大幅蒸镀机，目前的主要市场就是占据一半手机屏幕份额的OLED和未来可能总份额不会高于3成的IT显示器。即OLED显示在显示产业目前不是多数、因为成本原因未来亦未必是多数，且市场面临印刷技术、QLED、Micro LED等新显示技术的竞争可能。

    这导致，整体显示行业看，对大幅OLED蒸镀机的需求有限。且单台设备价格过高，甚至售价超过10亿元，采购商不太可能为新供应商提供“试错”空间。——实际上，硅基OLED蒸镀机突破之后，本土供应商为了获得订单已经不得不采用“先用后付款”的模式，承担所有开发性风险。

    即对于国产大幅真空蒸镀OLED成膜设备产业发展而言，技术难度固然是有的，但潜在市场规模很难容纳新玩家、用户端很难给与尝试机会，是更为重要的问题和真正的难点：打不通用的瓶颈，上游设备商就没有开发这类设备的“动因”。

    所以，在新一代OLED面板的设备采购上，被蒸镀机卡脖子，不能说竞争对手没有卡国内产业一下的想法，但更主要的还是这个行业下游需求和潜能过于集中和有限导致的，设备供给端必然没有充分竞争的规律使然。这不是真正的“生死线”的卡脖子。

    大幅蒸镀折中方案与新技术

    没有大幅蒸镀机，就不能建设高世代OLED面板线吗？答案也并非完全如此。

    例如，LGD的8.5代OLED电视面板线，最初建设的时候，全球都没有8.5代蒸镀机。怎么办呢？其采用将8.5代切割成两半，用6代线蒸镀机蒸镀的方式，亦实现了量产。只不过这种折中等于“半8.5代线”，生产效率和成本受到不小的影响。我国产业界，在最早的5.5/6代OLED线产能上，由于缺乏适配的蒸镀机，甚至采用过玻璃基板切割成四块，用更低世代蒸镀机蒸镀的方案。

    即，大幅先进蒸镀设备，不像先进光刻机，面对先进产品需求时缺乏折中方案。通过二分之一蒸镀或者四分之一蒸镀，高世代OLED线的架子是能够搭建出来的，且产品质量、品质不受任何影响。从这一点看，高端大幅蒸镀机自身的卡脖子效应非常低。更何况，显示产业的主体依然是LCD产品.。LCD的制造设备没有卡脖子问题。即没有OLED用LCD不是也很好吗？

    当然，对于大幅先进蒸镀机而言，最大的挑战来自竞品技术。其中最重要的是印刷OLED显示。2024年TCL华星第一条5.5代印刷OLED量产线要投入生产。这将继续检验印刷OLED技术的可行性。理论上，印刷OLED要比蒸镀OLED“1.设备价格低廉、2.材料更为节约、3.大幅化更容易，效率更高”——总之一句话就是成本更低。业内预计，目前尚未成熟和规模化的印刷OLED成本，应与已经大规模制造和高度成熟的6代线蒸镀OLED相当。

    因此，在大幅先进蒸镀机面临的全球需求本就有限的格局下，还有一个潜在的强大替代者一直在“研发中潜行”。目前我国在印刷OLED设备、材料和量产布局上处于领先地位。

    与此相似，Micro LED显示作为未来可能的高端显示应用接班人，很可能是OLED显示未来的最大挑战者。我国产业界在Micro LED的投资规模、设备和材料研发、量产工艺上的积累与全球同步，甚至大幅占优。

    所以，从现实和未来的可能竞争性角度看，LCD、QLED、MICRO LED、印刷显示等，都对大幅蒸镀机+OLED的这一组合构成威胁、替代。这是另一视角下大幅蒸镀机的“难不倒”。

    综上所述，大幅蒸镀机有点像先进光刻机，是一个产业瓶颈点。只不过，要提卡脖子就必须是在蒸镀OLED这条赛道上才有效，但是现代显示产业的赛道太多了。而且，如果不提“大幅”二字，一般性蒸镀设备更是一个白菜化的产品，不存在被卡的可能。——在这样的背景下，大幅蒸镀机作为经济武器使用的价值就极低，甚至是“大幅蒸镀机武器化”只会加速蒸镀的替代工艺、或者本土大型蒸镀设备的发展，对于武器使用者绝对得不偿失。