总投资16.7亿元！中微公司临港产业化基地项目正式投入使用

    近日，中微公司临港产业化基地启用仪式在东方芯港举行。市委常委，临港新片区党工委书记、管委会主任陈金山，市政协副主席肖贵玉出席活动。

中微公司临港产业化基地启用仪式

    2021年，中微正式启动了中微临港产业化基地、中微临港总部和研发基地的建设。近日，中微临港产业化基地项目正式投入使用，项目总投资16.7亿元，占地157亩，总建筑面积约18万平方米，配备行业领先的实验室、业界高标准的洁净室、先进的生产车间及智能化立体仓库等设施，可实现生产全程数字化、智能化管理，为中微最大的生产制造基地。

    中微公司跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域。中微公司的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的芯片加工制造及先进封装，中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。

    中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务，是中国国内半导体设备的领先企业。公司总部位于上海，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。

    作为2019年首批科创板上市企业，截至2024年6月，中微公司累计申请专利已达2648项，已获授权专利1670项，其中发明专利占比高达85.87%，目前累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产和大规模重复性销售。

    中微公司的客户遍布中国大陆和中国台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等10多个国家和地区，在全球范围内拥有2000多名员工，其中研发人员占比接近半数。

    中微公司累计荣获百余项知名奖项，在美国TechInsights全球客户满意度调查中，中微公司连续多年排名位居前列。2023年，公司荣获“上海市科技进步一等奖”，并还多次入选福布斯中国最具创新力企业50强榜单。此外，公司两次荣获“中国专利金奖”，多次荣获“中国专利优秀奖”“上海市发明创造专利奖”和“上海市知识产权创新奖”等奖项。

    临港产业化基地的启用，将为中微各类设备生产提供强有力的产能保障，助力中微在全球集成电路设备市场进一步提升市场占有率。

中微公司临港产业化基地

    今年是临港新片区揭牌成立五周年，也是“东方芯港”启动建设五周年。集成电路是临港新片区“4+2+2”前沿产业体系的核心组成，涵盖设计、制造、设备、核心材料、封装等完整门类，是临港投资规模最大、产业集聚度最高、产值增长最快的先导产业。集成电路产业规上产值从2019年的不到3亿元到2024年即将突破200亿元，用五年时间实现翻六番的增长奇迹。今年上半年，集成电路产业规上工业产值117.3亿元，增速274.9%。从集成电路产业的细分领域来看，设备产业是链条最完善、生态最好的领域。临港新片区已落地集成电路设备整机、零部件及关键耗材企业有80余家，已覆盖涂胶显影设备、光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备、清洗设备、量检测设备、后道封装测试设备等环节，并延伸到阀门、腔体设备等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、抛光材料等关键耗材领域。